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时间:2024-05-05 03:56:39 来源:网络整理编辑:热点
液晶玻璃基板品质管控要求严厉、配置装备部署精度要求高,传统的打仗式测厚装置已经无奈知足之后破费要求。激光测厚装置的运用实用抵偿了打仗式测厚装置的缺少,以玻璃基板厚度为钻研工具,对于激光测厚零星在液晶玻
液晶玻璃基板品质管控要求严厉、激光技术基板技术配置装备部署精度要求高,测厚传统的液晶运用打仗式测厚装置已经无奈知足之后破费要求。激光测厚装置的玻璃玻璃运用实用抵偿了打仗式测厚装置的缺少,以玻璃基板厚度为钻研工具,破费对于激光测厚零星在液晶玻璃基板中的激光技术基板技术运用妨碍合成。
激光测厚仪简介:激光是测厚由激光器发生的一种特殊的平行光束,它具备倾向性强、液晶运用亮度高、玻璃玻璃颜色纯、破费光脉冲宽度窄等优异物理特色。激光技术基板技术激光在线测厚仪艰深是测厚由两个激光位移传感器高下对于射的方式组成,高下的液晶运用两个传感器分说丈量玻璃基板上概况的位置以及下概况的位置,经由合计机合计患上到玻璃基板的玻璃玻璃厚度。激光测厚装置的破费操作道理如图1所示,激光丈量道理如图2所示。
图1激光测厚装置操作道理图
图2激光丈量道理图
使命道理:激光在线测厚仪有两种魔难方式,分说为双面激光魔难(2个激光三角丈量传感器)以及单面贴辊魔难(1个激光三角丈量传感器),两种魔难方式都是经由丈量传感器到被测质料概况的距离。凭证妄想要求,一个附加的传感器,艰深为高精确涡轮传感器,用来丈量双面传感器之间的距离概况丈量单面传感器到参考物之间的距离。激光在线测厚零星的短处在于接管非打仗的丈量,相对于打仗式测厚仪更精确,不会因探头磨损而损失精度。
传统测厚技术的缺陷:(1)丈量频率低,当初其丈量频率为每一5张丈量1次,每一次丈量历时8~10 s,不能实时反映每一张玻璃基板厚度的着假相形,(2)数据失真率大,组成数据收集失真率大,不能残缺着实反映玻璃基板厚度品质。(3)破斲丧用大,由于接管牢靠式打仗位置传感器,导致位置传感器磨损减速,替换周期延迟等。
激光在线测厚技术的短处:(1)在线实时监测,其是接管一个激光探测器组成的监测零星,丈量速率快,能残缺做到知足1张1测的需要,保障了液晶基板玻璃厚度品质的实时监测。(2)数据统计合成,该零星合计出每一点厚度值及坐标位置,并传递到展现模块中,再凭证每一张厚度变更趋向,零星判断后续玻璃基板厚度变更趋向,为工艺职员提供厚度调解倾向。(3)颇为启动紧迫信号,可能家养配置厚度晃动规模的高下限,对于逾越设定规模内的颇为厚度基板妨碍启动紧迫信号,使命职员能在第1光阴发现颇为,延迟颇为处置光阴,防止颇为厚度品质基板漏检,削减产物浪费,且该零星还能对于颇为产物遏制定位阻止。(4)单点之间丈量距离距离可控调节,激光测厚容量大,数据处置快,单点之间丈量距离距离能实现可控调节,距离距离能精确至1妹妹,较大提升丈量精度的同时实用防止因丈量间距原因组成部份厚度颇为导致漏检爆发。
激光技术作为高新技术,近十多少年来在液晶玻璃基板行业中的运用实例越来越多。好比:激光校对于技术运用在成型炉体装置中间校对于上;激光切割技术运用在玻璃基板在线切割上,替换横切刀切割,削减玻璃粉尘的发生;红外热成像技术运用在高温炉体外部配置装备部署缺陷判断,可凭证热成像其温度场的扩散、丈量任何部份的温度值,对于种种外部及外部倾向妨碍诊断等等。
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